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电感耦合等离子体刻蚀ICP

研启科学仪器（东莞）有限公司

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Minilock-Phantom III ICP等离子刻蚀ICP

德国韦氏纳米系统有限公司

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customized多腔等离子体刻蚀系统

深圳市矢量科学仪器有限公司

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SENTECH 集群系统等离子刻蚀集群系统

深圳市矢量科学仪器有限公司

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NPC-4000（M）等离子去胶机（刻蚀机）

那诺中国有限公司

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NPC-3500（M）等离子去胶机（刻蚀机）

那诺中国有限公司

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SAT 320赛奥特（SAT)粉末/粉体/颗粒等离子处理

赛奥特（北京）科技有限公司

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RIE-230iPC等离子体（ICP）刻蚀设备

深圳市矢量科学仪器有限公司

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ICP-RIE SI 500德国SENTECH等离子刻蚀机

赫尔纳贸易（大连）有限公司

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RIE200/RIE200plus等离子刻蚀机

广州金程科学仪器有限公司

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